金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2008年
3期
70-73
,共4页
直流电弧等离子体喷射%化学气相沉积%金刚石膜%工艺参数
直流電弧等離子體噴射%化學氣相沉積%金剛石膜%工藝參數
직류전호등리자체분사%화학기상침적%금강석막%공예삼수
为了研究工艺对CVD金刚石膜生长的影响,本文采用电镜、激光Raman谱分析等手段研究工艺参数对CVD金刚石膜生长速率和生长质量的影响.结果显示:金刚石薄膜的生长速率随甲烷浓度(3%～10%)、基片温度(800～1200℃)的增加而增加,随工作气压的升高先是增加,而后降低,峰值在15～20 kPa处.金刚石薄膜中非金刚石碳的相对含量先随基片温度的增加逐渐降低,在1080～1100 ℃达到最小值以后又开始急剧增加,膜的质量(结晶形态好和非金刚石碳的相对含量少)在1080～1100 ℃处达到最佳.
為瞭研究工藝對CVD金剛石膜生長的影響,本文採用電鏡、激光Raman譜分析等手段研究工藝參數對CVD金剛石膜生長速率和生長質量的影響.結果顯示:金剛石薄膜的生長速率隨甲烷濃度(3%～10%)、基片溫度(800～1200℃)的增加而增加,隨工作氣壓的升高先是增加,而後降低,峰值在15～20 kPa處.金剛石薄膜中非金剛石碳的相對含量先隨基片溫度的增加逐漸降低,在1080～1100 ℃達到最小值以後又開始急劇增加,膜的質量(結晶形態好和非金剛石碳的相對含量少)在1080～1100 ℃處達到最佳.
위료연구공예대CVD금강석막생장적영향,본문채용전경、격광Raman보분석등수단연구공예삼수대CVD금강석막생장속솔화생장질량적영향.결과현시:금강석박막적생장속솔수갑완농도(3%～10%)、기편온도(800～1200℃)적증가이증가,수공작기압적승고선시증가,이후강저,봉치재15～20 kPa처.금강석박막중비금강석탄적상대함량선수기편온도적증가축점강저,재1080～1100 ℃체도최소치이후우개시급극증가,막적질량(결정형태호화비금강석탄적상대함량소)재1080～1100 ℃처체도최가.
