光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
3期
61-63,71
,共4页
相位测量轮廓术%像素尺寸%积分采样%测量误差
相位測量輪廓術%像素呎吋%積分採樣%測量誤差
상위측량륜곽술%상소척촌%적분채양%측량오차
以阶跃型反射率分布为例,分析了像素尺寸对相位测量轮廓术(PMP)测量精度的影响情况.仿真结果表明相位测量误差大小随感光单元覆盖的相位范围增加而增加,即采用高分辨率探测器可以得到高的测量精度;相位测量误差大小与阶跃在感光单元上的位置有关,存在导致最大误差的位置,并且该位置与阶跃相对幅值有关;相位测量误差大小随阶跃相对幅值增大而增大,偏向反射率高的方向.研究结果为PMP测量系统设计中图像探测器选择、测量精度评价提供了依据.
以階躍型反射率分佈為例,分析瞭像素呎吋對相位測量輪廓術(PMP)測量精度的影響情況.倣真結果錶明相位測量誤差大小隨感光單元覆蓋的相位範圍增加而增加,即採用高分辨率探測器可以得到高的測量精度;相位測量誤差大小與階躍在感光單元上的位置有關,存在導緻最大誤差的位置,併且該位置與階躍相對幅值有關;相位測量誤差大小隨階躍相對幅值增大而增大,偏嚮反射率高的方嚮.研究結果為PMP測量繫統設計中圖像探測器選擇、測量精度評價提供瞭依據.
이계약형반사솔분포위례,분석료상소척촌대상위측량륜곽술(PMP)측량정도적영향정황.방진결과표명상위측량오차대소수감광단원복개적상위범위증가이증가,즉채용고분변솔탐측기가이득도고적측량정도;상위측량오차대소여계약재감광단원상적위치유관,존재도치최대오차적위치,병차해위치여계약상대폭치유관;상위측량오차대소수계약상대폭치증대이증대,편향반사솔고적방향.연구결과위PMP측량계통설계중도상탐측기선택、측량정도평개제공료의거.
