物理学报
物理學報
물이학보
2004年
11期
3823-3828
,共6页
钛离子注入%金属蒸汽真空弧%卢瑟福背散射%掠面x射线衍射
鈦離子註入%金屬蒸汽真空弧%盧瑟福揹散射%掠麵x射線衍射
태리자주입%금속증기진공호%로슬복배산사%략면x사선연사
采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钛、碳离子对H13钢进行表面改性研究.钛和碳离子注入剂量分别为3×1017和1×1017 cm-2,引出电压分别为48和30kV,平均束流密度分别为47和20μA·cm-2.为了保持相同的摩擦磨损实验条件,注入过程中采用掩蔽注入技术.摩擦磨损实验结果表明,钛离子注入H13钢提高了其耐磨性,并大幅度降低其摩擦系数.利用卢瑟福背散射谱测量了离子注入表面的成分,并采用逐层递推法得出了钛在H13钢中的浓度深度分布,借助掠面x射线衍射考察了注入表面的相结构.
採用由金屬蒸汽真空弧離子源引齣的彊束流鈦、碳離子對H13鋼進行錶麵改性研究.鈦和碳離子註入劑量分彆為3×1017和1×1017 cm-2,引齣電壓分彆為48和30kV,平均束流密度分彆為47和20μA·cm-2.為瞭保持相同的摩抆磨損實驗條件,註入過程中採用掩蔽註入技術.摩抆磨損實驗結果錶明,鈦離子註入H13鋼提高瞭其耐磨性,併大幅度降低其摩抆繫數.利用盧瑟福揹散射譜測量瞭離子註入錶麵的成分,併採用逐層遞推法得齣瞭鈦在H13鋼中的濃度深度分佈,藉助掠麵x射線衍射攷察瞭註入錶麵的相結構.
채용유금속증기진공호리자원인출적강속류태、탄리자대H13강진행표면개성연구.태화탄리자주입제량분별위3×1017화1×1017 cm-2,인출전압분별위48화30kV,평균속류밀도분별위47화20μA·cm-2.위료보지상동적마찰마손실험조건,주입과정중채용엄폐주입기술.마찰마손실험결과표명,태리자주입H13강제고료기내마성,병대폭도강저기마찰계수.이용로슬복배산사보측량료리자주입표면적성분,병채용축층체추법득출료태재H13강중적농도심도분포,차조략면x사선연사고찰료주입표면적상결구.
