发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2006年
2期
229-233
,共5页
路丽霞%季辉%汤庆鑫%童艳红%刘益春
路麗霞%季輝%湯慶鑫%童豔紅%劉益春
로려하%계휘%탕경흠%동염홍%류익춘
等离子体辅助电子束蒸发%纳米ZnO薄膜%ZnO/Zn界面%光致发光
等離子體輔助電子束蒸髮%納米ZnO薄膜%ZnO/Zn界麵%光緻髮光
등리자체보조전자속증발%납미ZnO박막%ZnO/Zn계면%광치발광
采用氧等离子体辅助电子束蒸发金属Zn后低温退火的方法制备纳米ZnO薄膜.利用X射线衍射(XRD)谱、拉曼(Raman)谱、X射线光电子能谱(XPS)以及光致发光(PL)谱等手段,分析了退火温度及ZnO/Zn界面对样品的结构和发光性质的影响.Raman结果表明随着退火温度的升高,界面模式(Es)振动减弱并向低波数方向移动.当退火温度为400℃时,界面振动消失,Zn全部转化成具有六方纤锌矿结构的ZnO,得到化学配比的纳米ZnO薄膜.PL谱表明,经400℃退火处理的样品紫外发射最强,发光性质最好.
採用氧等離子體輔助電子束蒸髮金屬Zn後低溫退火的方法製備納米ZnO薄膜.利用X射線衍射(XRD)譜、拉曼(Raman)譜、X射線光電子能譜(XPS)以及光緻髮光(PL)譜等手段,分析瞭退火溫度及ZnO/Zn界麵對樣品的結構和髮光性質的影響.Raman結果錶明隨著退火溫度的升高,界麵模式(Es)振動減弱併嚮低波數方嚮移動.噹退火溫度為400℃時,界麵振動消失,Zn全部轉化成具有六方纖鋅礦結構的ZnO,得到化學配比的納米ZnO薄膜.PL譜錶明,經400℃退火處理的樣品紫外髮射最彊,髮光性質最好.
채용양등리자체보조전자속증발금속Zn후저온퇴화적방법제비납미ZnO박막.이용X사선연사(XRD)보、랍만(Raman)보、X사선광전자능보(XPS)이급광치발광(PL)보등수단,분석료퇴화온도급ZnO/Zn계면대양품적결구화발광성질적영향.Raman결과표명수착퇴화온도적승고,계면모식(Es)진동감약병향저파수방향이동.당퇴화온도위400℃시,계면진동소실,Zn전부전화성구유륙방섬자광결구적ZnO,득도화학배비적납미ZnO박막.PL보표명,경400℃퇴화처리적양품자외발사최강,발광성질최호.