半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2006年
9期
1604-1607
,共4页
杨威%刘训春%朱旻%王润梅%申华军
楊威%劉訓春%硃旻%王潤梅%申華軍
양위%류훈춘%주민%왕윤매%신화군
异质结双极型晶体管%三指发射极%自对准
異質結雙極型晶體管%三指髮射極%自對準
이질결쌍겁형정체관%삼지발사겁%자대준
异质结双极型晶体管(HBT)是MMIC领域中最具有竞争力的三端器件之一.本文提出了一种三指发射极HBT的设计.通过与同一版上两指发射极HBT比较,证实了该设计的工艺宽容度高、可靠性和一致性好、成品率高,并且仍然具有两指发射极HBT良好的击穿、直流和高频特性.
異質結雙極型晶體管(HBT)是MMIC領域中最具有競爭力的三耑器件之一.本文提齣瞭一種三指髮射極HBT的設計.通過與同一版上兩指髮射極HBT比較,證實瞭該設計的工藝寬容度高、可靠性和一緻性好、成品率高,併且仍然具有兩指髮射極HBT良好的擊穿、直流和高頻特性.
이질결쌍겁형정체관(HBT)시MMIC영역중최구유경쟁력적삼단기건지일.본문제출료일충삼지발사겁HBT적설계.통과여동일판상량지발사겁HBT비교,증실료해설계적공예관용도고、가고성화일치성호、성품솔고,병차잉연구유량지발사겁HBT량호적격천、직류화고빈특성.
