光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2009年
4期
935-939
,共5页
刘世元%张传维%沈宏伟%顾华勇
劉世元%張傳維%瀋宏偉%顧華勇
류세원%장전유%침굉위%고화용
傅里叶变换红外光谱仪%红外反射谱%动态随机存储器%深沟槽结构
傅裏葉變換紅外光譜儀%紅外反射譜%動態隨機存儲器%深溝槽結構
부리협변환홍외광보의%홍외반사보%동태수궤존저기%심구조결구
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统.给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路.通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比.对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数.该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景.
提齣瞭一種基于傅裏葉變換紅外(FTR)反射譜的動態隨機存儲器(DRAM)深溝槽結構測量方法與繫統.給齣瞭測量原理與方法,設計瞭測量繫統光路.通過可變光闌調節探測光斑大小併選擇閤適的入射角,消除瞭揹麵雜散光反射榦擾的影響,大大提高瞭信譟比.對DRAM深溝槽樣品進行反射光譜圖測試與實驗研究,錶明所述方法與繫統能夠提取齣納米級精度的深溝槽參數.該技術提供瞭一種無接觸、非破壞、快速、低成本和高精度的深溝槽結構測量新途徑,在集成電路製造過程中的在線鑑測與工藝控製方麵具有廣闊的應用前景.
제출료일충기우부리협변환홍외(FTR)반사보적동태수궤존저기(DRAM)심구조결구측량방법여계통.급출료측량원리여방법,설계료측량계통광로.통과가변광란조절탐측광반대소병선택합괄적입사각,소제료배면잡산광반사간우적영향,대대제고료신조비.대DRAM심구조양품진행반사광보도측시여실험연구,표명소술방법여계통능구제취출납미급정도적심구조삼수.해기술제공료일충무접촉、비파배、쾌속、저성본화고정도적심구조결구측량신도경,재집성전로제조과정중적재선감측여공예공제방면구유엄활적응용전경.
