传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
8期
41-43,47
,共4页
陈晖%李光杨%汪红%王艳%丁桂甫%赵小林
陳暉%李光楊%汪紅%王豔%丁桂甫%趙小林
진휘%리광양%왕홍%왕염%정계보%조소림
微电铸%对流-扩散传质%渗透流%回流
微電鑄%對流-擴散傳質%滲透流%迴流
미전주%대류-확산전질%삼투류%회류
利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析.对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流-扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比微结构中对流-扩散对传质的影响.模拟结果表明:当对流-扩散传质成为控制步骤时,渗透流影响镀层基本形貌,回流会引起镀层形貌的微小起伏.
利用有限元分析軟件FLUENT對MEMS微電鑄鍍層均勻性進行瞭分析.對噹物質傳輸成為金屬沉積的控製步驟時,進行對流-擴散傳質過程數值模擬,研究不同深寬比微結構中對流-擴散對傳質的影響.模擬結果錶明:噹對流-擴散傳質成為控製步驟時,滲透流影響鍍層基本形貌,迴流會引起鍍層形貌的微小起伏.
이용유한원분석연건FLUENT대MEMS미전주도층균균성진행료분석.대당물질전수성위금속침적적공제보취시,진행대류-확산전질과정수치모의,연구불동심관비미결구중대류-확산대전질적영향.모의결과표명:당대류-확산전질성위공제보취시,삼투류영향도층기본형모,회류회인기도층형모적미소기복.
