传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
8期
34-36
,共3页
旋光效应%微位移测量%线偏振光%石英晶体
鏇光效應%微位移測量%線偏振光%石英晶體
선광효응%미위이측량%선편진광%석영정체
微位移测量原理有许多种,利用偏振光的旋光效应是一种高效、简洁、精确的新方法.旋光效应是指单色线偏振光在沿光轴方向通过石英晶体时,透射出来的光的振动面会产生旋转的物理现象,其旋转角度与晶体厚度有关.用激光器、起偏器、石英晶体、千分尺等设计了一个微位移测试系统,测试表明:其测量精度能达到0.1 μm,测量范围可达300 μm,相对误差不超过±1％,能满足各种仪器仪表的微位移测量要求,可广泛应用于精密微位移检测系统中.
微位移測量原理有許多種,利用偏振光的鏇光效應是一種高效、簡潔、精確的新方法.鏇光效應是指單色線偏振光在沿光軸方嚮通過石英晶體時,透射齣來的光的振動麵會產生鏇轉的物理現象,其鏇轉角度與晶體厚度有關.用激光器、起偏器、石英晶體、韆分呎等設計瞭一箇微位移測試繫統,測試錶明:其測量精度能達到0.1 μm,測量範圍可達300 μm,相對誤差不超過±1％,能滿足各種儀器儀錶的微位移測量要求,可廣汎應用于精密微位移檢測繫統中.
미위이측량원리유허다충,이용편진광적선광효응시일충고효、간길、정학적신방법.선광효응시지단색선편진광재연광축방향통과석영정체시,투사출래적광적진동면회산생선전적물리현상,기선전각도여정체후도유관.용격광기、기편기、석영정체、천분척등설계료일개미위이측시계통,측시표명:기측량정도능체도0.1 μm,측량범위가체300 μm,상대오차불초과±1％,능만족각충의기의표적미위이측량요구,가엄범응용우정밀미위이검측계통중.
