中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2003年
4期
345-348
,共4页
章宁琳%宋志棠%邢溯%万青%林成鲁
章寧琳%宋誌棠%邢溯%萬青%林成魯
장저림%송지당%형소%만청%림성로
薄膜物理学%ZrO2薄膜%脉冲激光沉积法%衬底温度%结晶结构%电学性能
薄膜物理學%ZrO2薄膜%脈遲激光沉積法%襯底溫度%結晶結構%電學性能
박막물이학%ZrO2박막%맥충격광침적법%츤저온도%결정결구%전학성능
采用准分子脉冲激光沉积法(PLD)分别在Pt/Ti/SiO2/Si和SiO2/Si衬底上制备了ZrO2薄膜,采用扩展电阻法(SRP)研究了薄膜纵向电阻分布;采用X射线衍射法(XRD)研究了衬底温度对ZrO2薄膜结晶性能的影响;精确测试了薄膜的表面粗糙度;讨论了薄膜结晶性能与其电学I-V特性之间的关系.
採用準分子脈遲激光沉積法(PLD)分彆在Pt/Ti/SiO2/Si和SiO2/Si襯底上製備瞭ZrO2薄膜,採用擴展電阻法(SRP)研究瞭薄膜縱嚮電阻分佈;採用X射線衍射法(XRD)研究瞭襯底溫度對ZrO2薄膜結晶性能的影響;精確測試瞭薄膜的錶麵粗糙度;討論瞭薄膜結晶性能與其電學I-V特性之間的關繫.
채용준분자맥충격광침적법(PLD)분별재Pt/Ti/SiO2/Si화SiO2/Si츤저상제비료ZrO2박막,채용확전전조법(SRP)연구료박막종향전조분포;채용X사선연사법(XRD)연구료츤저온도대ZrO2박막결정성능적영향;정학측시료박막적표면조조도;토론료박막결정성능여기전학I-V특성지간적관계.