辽宁大学学报（自然科学版）
遼寧大學學報（自然科學版）
료녕대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2004年
4期
358-362
,共5页
郭天雷%吴春瑜%刘红%尹常永%王辉%孙传邦
郭天雷%吳春瑜%劉紅%尹常永%王輝%孫傳邦
곽천뢰%오춘유%류홍%윤상영%왕휘%손전방
电力器件%磷扩散%MATHMATICA 4%SUPREM-IV.GS%模型%模拟
電力器件%燐擴散%MATHMATICA 4%SUPREM-IV.GS%模型%模擬
전력기건%린확산%MATHMATICA 4%SUPREM-IV.GS%모형%모의
针对电力半导体器件的特性和工艺特点,提出了一种适用于电力器件的磷扩散模型并应用MATHMATICA 4对该模型进行计算,计算的结果与SUPREM-IV.GS模拟软件在相同的工艺条件下得到的结果趋于一致.并且与实际扩散结果接近.此种方法为电力器件其他杂质的扩散工艺过程的模拟提供了一定指导作用.
針對電力半導體器件的特性和工藝特點,提齣瞭一種適用于電力器件的燐擴散模型併應用MATHMATICA 4對該模型進行計算,計算的結果與SUPREM-IV.GS模擬軟件在相同的工藝條件下得到的結果趨于一緻.併且與實際擴散結果接近.此種方法為電力器件其他雜質的擴散工藝過程的模擬提供瞭一定指導作用.
침대전력반도체기건적특성화공예특점,제출료일충괄용우전력기건적린확산모형병응용MATHMATICA 4대해모형진행계산,계산적결과여SUPREM-IV.GS모의연건재상동적공예조건하득도적결과추우일치.병차여실제확산결과접근.차충방법위전력기건기타잡질적확산공예과정적모의제공료일정지도작용.
