热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2004年
12期
26-28
,共3页
杨觉明%张康虎%余申卫%余萍%张海礁
楊覺明%張康虎%餘申衛%餘萍%張海礁
양각명%장강호%여신위%여평%장해초
铟锡氧化物%溶解-凝胶工艺%透明导电膜%方阻%透光率
銦錫氧化物%溶解-凝膠工藝%透明導電膜%方阻%透光率
인석양화물%용해-응효공예%투명도전막%방조%투광솔
采用溶胶-凝胶工艺制备出纳米晶ITO透明导电薄膜.采用XRD和SEM分析了薄膜物相和显微形貌.采用面电阻仪和分光光度计测量了薄膜方阻和透光率.实验结果表明,随热处理温度升高,晶化趋于完整,组织逐渐均匀致密,晶粒有所长大,700℃热处理时薄膜完全晶化.另外,随热处理温度升高,方阻减小而透光率增加.经过700℃热处理,厚度400 nm的ITO膜的方阻约300Ω/□,透光率》80%.
採用溶膠-凝膠工藝製備齣納米晶ITO透明導電薄膜.採用XRD和SEM分析瞭薄膜物相和顯微形貌.採用麵電阻儀和分光光度計測量瞭薄膜方阻和透光率.實驗結果錶明,隨熱處理溫度升高,晶化趨于完整,組織逐漸均勻緻密,晶粒有所長大,700℃熱處理時薄膜完全晶化.另外,隨熱處理溫度升高,方阻減小而透光率增加.經過700℃熱處理,厚度400 nm的ITO膜的方阻約300Ω/□,透光率》80%.
채용용효-응효공예제비출납미정ITO투명도전박막.채용XRD화SEM분석료박막물상화현미형모.채용면전조의화분광광도계측량료박막방조화투광솔.실험결과표명,수열처리온도승고,정화추우완정,조직축점균균치밀,정립유소장대,700℃열처리시박막완전정화.령외,수열처리온도승고,방조감소이투광솔증가.경과700℃열처리,후도400 nm적ITO막적방조약300Ω/□,투광솔》80%.
