物理学报
物理學報
물이학보
2006年
2期
941-946
,共6页
碳纳米尖端%等离子体%化学气相沉积
碳納米尖耑%等離子體%化學氣相沉積
탄납미첨단%등리자체%화학기상침적
用CH4,NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在不同偏压电流的条件下制备了碳纳米尖端,并用扫描电子显微镜和显微Raman光谱仪对碳纳米尖端进行了研究.结果表明碳纳米尖端是石墨结构,随着偏压电流的增大,碳纳米尖端的顶角减小,生长速率增大.结合有关等离子体和溅射的理论,分析讨论了碳纳米尖端的形成和碳纳米尖端的生长随偏压电流的变化.
用CH4,NH3和H2為反應氣體,利用等離子體增彊熱絲化學氣相沉積繫統在不同偏壓電流的條件下製備瞭碳納米尖耑,併用掃描電子顯微鏡和顯微Raman光譜儀對碳納米尖耑進行瞭研究.結果錶明碳納米尖耑是石墨結構,隨著偏壓電流的增大,碳納米尖耑的頂角減小,生長速率增大.結閤有關等離子體和濺射的理論,分析討論瞭碳納米尖耑的形成和碳納米尖耑的生長隨偏壓電流的變化.
용CH4,NH3화H2위반응기체,이용등리자체증강열사화학기상침적계통재불동편압전류적조건하제비료탄납미첨단,병용소묘전자현미경화현미Raman광보의대탄납미첨단진행료연구.결과표명탄납미첨단시석묵결구,수착편압전류적증대,탄납미첨단적정각감소,생장속솔증대.결합유관등리자체화천사적이론,분석토론료탄납미첨단적형성화탄납미첨단적생장수편압전류적변화.
