电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2007年
3期
833-836
,共4页
邵国成%杨昊宇%戴旭涵%赵小林%丁桂甫
邵國成%楊昊宇%戴旭涵%趙小林%丁桂甫
소국성%양호우%대욱함%조소림%정계보
微机电系统%光衰减器%表面微加工%电磁驱动
微機電繫統%光衰減器%錶麵微加工%電磁驅動
미궤전계통%광쇠감기%표면미가공%전자구동
介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层的非硅表面微加工微技术被应用于挡光片的制作上,此项技术与硅的体加工技术相结合有望降低器件的加工成本.此外,还分析了该可调光衰减器的衰减机理,理论计算结果与实验数据基本吻合.实验测得样机性能为,插入损耗低于3 dB,动态范围大于40 dB,回波损耗大于40 dB.
介紹瞭一種電磁驅動型MEMS可調光衰減器,該器件通過調節微擋光片在光路中的位置控製衰減量.以銅作為犧牲層,由電鍍鐵鎳作為結構層的非硅錶麵微加工微技術被應用于擋光片的製作上,此項技術與硅的體加工技術相結閤有望降低器件的加工成本.此外,還分析瞭該可調光衰減器的衰減機理,理論計算結果與實驗數據基本吻閤.實驗測得樣機性能為,插入損耗低于3 dB,動態範圍大于40 dB,迴波損耗大于40 dB.
개소료일충전자구동형MEMS가조광쇠감기,해기건통과조절미당광편재광로중적위치공제쇠감량.이동작위희생층,유전도철얼작위결구층적비규표면미가공미기술피응용우당광편적제작상,차항기술여규적체가공기술상결합유망강저기건적가공성본.차외,환분석료해가조광쇠감기적쇠감궤리,이론계산결과여실험수거기본문합.실험측득양궤성능위,삽입손모저우3 dB,동태범위대우40 dB,회파손모대우40 dB.
