光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2009年
5期
52-55
,共4页
张春晖%陈龙江%梁宜勇%杨国光
張春暉%陳龍江%樑宜勇%楊國光
장춘휘%진룡강%량의용%양국광
光刻%双光谱法%胶厚检测
光刻%雙光譜法%膠厚檢測
광각%쌍광보법%효후검측
提出了一种光刻胶厚度测量方法,即双光谱法.采用AZ4620正型光刻胶甩胶于平面玻璃基片,以椭偏仪测量的结果为基准.通过双光谱法的测量,检测经过基片的出射光相对入射光强度的变化,达到测量胶厚的目的,结果偏差在2%以内.与传统的膜厚检测方法相比,有计算方法简便,可操作性强等优点.针对光刻胶有曝光的特性,双光谱法更适合于胶厚检测.
提齣瞭一種光刻膠厚度測量方法,即雙光譜法.採用AZ4620正型光刻膠甩膠于平麵玻璃基片,以橢偏儀測量的結果為基準.通過雙光譜法的測量,檢測經過基片的齣射光相對入射光彊度的變化,達到測量膠厚的目的,結果偏差在2%以內.與傳統的膜厚檢測方法相比,有計算方法簡便,可操作性彊等優點.針對光刻膠有曝光的特性,雙光譜法更適閤于膠厚檢測.
제출료일충광각효후도측량방법,즉쌍광보법.채용AZ4620정형광각효솔효우평면파리기편,이타편의측량적결과위기준.통과쌍광보법적측량,검측경과기편적출사광상대입사광강도적변화,체도측량효후적목적,결과편차재2%이내.여전통적막후검측방법상비,유계산방법간편,가조작성강등우점.침대광각효유폭광적특성,쌍광보법경괄합우효후검측.
