电子产品可靠性与环境试验
電子產品可靠性與環境試驗
전자산품가고성여배경시험
ELECTRONIC PRODUCT RELIABILITY AND ENVIRONMENTAL TESTING
2009年
z1期
14-21
,共8页
加速电压%过压比%出射角%工作距离%误差%定量结果
加速電壓%過壓比%齣射角%工作距離%誤差%定量結果
가속전압%과압비%출사각%공작거리%오차%정량결과
本文就围绕着如何才能把能谱的定量分析结果做的准确这个能谱用户最关心的问题,从电镜、能谱仪和样品这三方面人手展开探讨.文中首先讨论SEM的加速电压、空间分辨力、电子源、光栏和束斑、出射角以及工作距离等;然后再讨论谱仪本身的能量分辨力、能量坐标轴的校准、计数率与放大器时间、探测器的效率、背底的扣除、CPS以及采集时间等;最后简略地介绍样品含量的均匀性、表面的平整度和导电性与及各种环境条件的干扰等多种参数影响.而且还分别用合金材料和化合物的分析实例来说明选择好各种参数,尽量减少各种不利的因素所带来的影响之后,一般都能够得到比较准确和满意的定量分析结果,使之达到GB/T17359-1998中规定的误差范围是不难的.
本文就圍繞著如何纔能把能譜的定量分析結果做的準確這箇能譜用戶最關心的問題,從電鏡、能譜儀和樣品這三方麵人手展開探討.文中首先討論SEM的加速電壓、空間分辨力、電子源、光欄和束斑、齣射角以及工作距離等;然後再討論譜儀本身的能量分辨力、能量坐標軸的校準、計數率與放大器時間、探測器的效率、揹底的釦除、CPS以及採集時間等;最後簡略地介紹樣品含量的均勻性、錶麵的平整度和導電性與及各種環境條件的榦擾等多種參數影響.而且還分彆用閤金材料和化閤物的分析實例來說明選擇好各種參數,儘量減少各種不利的因素所帶來的影響之後,一般都能夠得到比較準確和滿意的定量分析結果,使之達到GB/T17359-1998中規定的誤差範圍是不難的.
본문취위요착여하재능파능보적정량분석결과주적준학저개능보용호최관심적문제,종전경、능보의화양품저삼방면인수전개탐토.문중수선토론SEM적가속전압、공간분변력、전자원、광란화속반、출사각이급공작거리등;연후재토론보의본신적능량분변력、능량좌표축적교준、계수솔여방대기시간、탐측기적효솔、배저적구제、CPS이급채집시간등;최후간략지개소양품함량적균균성、표면적평정도화도전성여급각충배경조건적간우등다충삼수영향.이차환분별용합금재료화화합물적분석실례래설명선택호각충삼수,진량감소각충불리적인소소대래적영향지후,일반도능구득도비교준학화만의적정량분석결과,사지체도GB/T17359-1998중규정적오차범위시불난적.
