强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2010年
10期
2322-2326
,共5页
凌秀兰%赵元安%李大伟%邵建达%范正修
凌秀蘭%趙元安%李大偉%邵建達%範正脩
릉수란%조원안%리대위%소건체%범정수
光学薄膜%电子束沉积%损伤阈值%损伤形貌
光學薄膜%電子束沉積%損傷閾值%損傷形貌
광학박막%전자속침적%손상역치%손상형모
利用1-on-1损伤测试方法,比较研究了电子束沉积制备的几种薄膜在真空、大气环境下的损伤特性,并对真空环境与大气环境损伤的差异进行了分析.研究结果显示:真空环境下的损伤阈值明显低于大气环境下的损伤阈值,真空环境下的破斑形貌也与大气环境下的破斑形貌有显著差异.气体热传导差异不是真空环境与空气环境下损伤差异的原因.由水的解吸而引起膜层在真空环境中张应力的增大及真空环境中激光辐照过程中产生的非化学计量比缺陷是导致电子束沉积的薄膜真空与大气环境中损伤差异的原因.
利用1-on-1損傷測試方法,比較研究瞭電子束沉積製備的幾種薄膜在真空、大氣環境下的損傷特性,併對真空環境與大氣環境損傷的差異進行瞭分析.研究結果顯示:真空環境下的損傷閾值明顯低于大氣環境下的損傷閾值,真空環境下的破斑形貌也與大氣環境下的破斑形貌有顯著差異.氣體熱傳導差異不是真空環境與空氣環境下損傷差異的原因.由水的解吸而引起膜層在真空環境中張應力的增大及真空環境中激光輻照過程中產生的非化學計量比缺陷是導緻電子束沉積的薄膜真空與大氣環境中損傷差異的原因.
이용1-on-1손상측시방법,비교연구료전자속침적제비적궤충박막재진공、대기배경하적손상특성,병대진공배경여대기배경손상적차이진행료분석.연구결과현시:진공배경하적손상역치명현저우대기배경하적손상역치,진공배경하적파반형모야여대기배경하적파반형모유현저차이.기체열전도차이불시진공배경여공기배경하손상차이적원인.유수적해흡이인기막층재진공배경중장응력적증대급진공배경중격광복조과정중산생적비화학계량비결함시도치전자속침적적박막진공여대기배경중손상차이적원인.
