CAJ | 학술논문

介绍了氧化锌材料的一些突出特性以及生长氧化锌的方法.并通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备了优良的氧化锌薄膜.使用X射线衍射(XRD)谱和室温光致发光(PL)光谱对所生长氧化锌薄膜的晶体质量和光学特性进行了研究. X射线衍射谱图显示仅在2θ=34.72 °处有一个很陡峭的ZnO (002) 晶面衍射峰,说明所制备的氧化锌薄膜c轴取向高度一致.此衍射峰的半高宽为0.282 °,显示出较好的晶体质量.在室温光致发光谱中, 薄膜的紫外发光强度与深能级复合发光的强度比超过10∶1,表明薄膜的光学质量较高.
개소료양화자재료적일사돌출특성이급생장양화자적방법.병통과금속유궤화학기상침적(MOCVD)방법제비료우량적양화자박막.사용X사선연사(XRD)보화실온광치발광(PL)광보대소생장양화자박막적정체질량화광학특성진행료연구. X사선연사보도현시부재2θ=34.72 °처유일개흔두초적ZnO (002) 정면연사봉,설명소제비적양화자박막c축취향고도일치.차연사봉적반고관위0.282 °,현시출교호적정체질량.재실온광치발광보중, 박막적자외발광강도여심능급복합발광적강도비초과10∶1,표명박막적광학질량교고.