光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2005年
2期
238-240
,共3页
张大伟%张东平%邵建达%王英剑%范正修%范瑞瑛
張大偉%張東平%邵建達%王英劍%範正脩%範瑞瑛
장대위%장동평%소건체%왕영검%범정수%범서영
激光薄膜%离子束清洗%离子源%损伤阈值
激光薄膜%離子束清洗%離子源%損傷閾值
격광박막%리자속청세%리자원%손상역치
介绍了在激光薄膜中End-Hall型离子源离子束清洗的应用.通过实验验证了基片的二次污染和离子束的清洗效果,观测了离子束清洗前后基片的表面形貌变化.研究了用离子束清洗基片时对薄膜抗激光损伤阈值的作用.分析了用离子束清洗基片时其基片表面的性质,如清洁度、表面能、接触角、表面形貌的变化机理.指出了杂质微粒的去除和附着力的增加是如何使薄膜抗激光损伤阈值显著提高的.
介紹瞭在激光薄膜中End-Hall型離子源離子束清洗的應用.通過實驗驗證瞭基片的二次汙染和離子束的清洗效果,觀測瞭離子束清洗前後基片的錶麵形貌變化.研究瞭用離子束清洗基片時對薄膜抗激光損傷閾值的作用.分析瞭用離子束清洗基片時其基片錶麵的性質,如清潔度、錶麵能、接觸角、錶麵形貌的變化機理.指齣瞭雜質微粒的去除和附著力的增加是如何使薄膜抗激光損傷閾值顯著提高的.
개소료재격광박막중End-Hall형리자원리자속청세적응용.통과실험험증료기편적이차오염화리자속적청세효과,관측료리자속청세전후기편적표면형모변화.연구료용리자속청세기편시대박막항격광손상역치적작용.분석료용리자속청세기편시기기편표면적성질,여청길도、표면능、접촉각、표면형모적변화궤리.지출료잡질미립적거제화부착력적증가시여하사박막항격광손상역치현저제고적.
