传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
2304-2306,2309
,共4页
付永忠%丁建宁%解国新%杨继昌
付永忠%丁建寧%解國新%楊繼昌
부영충%정건저%해국신%양계창
分形%Al薄膜%表面形貌%电阻率
分形%Al薄膜%錶麵形貌%電阻率
분형%Al박막%표면형모%전조솔
磁控溅射法在Si(111)基底上制备了纳米Al薄膜,用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜图像进行分形维计算,并用四点探针法测量了薄膜电阻.结果表明,随着溅射时间的延长,薄膜表面质量提高,分形维增大,电阻率也随着分形维的增大而增大;随着退火温度的上升,薄膜表面质量下降,分形维和电阻率也随之降低.因此认为,分形维能够较好的表征薄膜表面形貌,分形维与薄膜电阻率存在对应关系,并指出用分形维可以优化溅射工艺参数.
磁控濺射法在Si(111)基底上製備瞭納米Al薄膜,用高度相關函數法對薄膜的原子力顯微鏡圖像進行分形維計算,併用四點探針法測量瞭薄膜電阻.結果錶明,隨著濺射時間的延長,薄膜錶麵質量提高,分形維增大,電阻率也隨著分形維的增大而增大;隨著退火溫度的上升,薄膜錶麵質量下降,分形維和電阻率也隨之降低.因此認為,分形維能夠較好的錶徵薄膜錶麵形貌,分形維與薄膜電阻率存在對應關繫,併指齣用分形維可以優化濺射工藝參數.
자공천사법재Si(111)기저상제비료납미Al박막,용고도상관함수법대박막적원자력현미경도상진행분형유계산,병용사점탐침법측량료박막전조.결과표명,수착천사시간적연장,박막표면질량제고,분형유증대,전조솔야수착분형유적증대이증대;수착퇴화온도적상승,박막표면질량하강,분형유화전조솔야수지강저.인차인위,분형유능구교호적표정박막표면형모,분형유여박막전조솔존재대응관계,병지출용분형유가이우화천사공예삼수.
