红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
z1期
186-188
,共3页
何少伟%黄鹰%戴君%赖建军%王兴治%易新建
何少偉%黃鷹%戴君%賴建軍%王興治%易新建
하소위%황응%대군%뢰건군%왕흥치%역신건
纳米材料%红外探测%二氧化钒%薄膜%微测辐射热计
納米材料%紅外探測%二氧化釩%薄膜%微測輻射熱計
납미재료%홍외탐측%이양화범%박막%미측복사열계
新型纳米结构的二氧化钒(VO2)热敏薄膜具有平均粒度为8 nm和在半导体相区电阻温度系数(TCR)为-6%～7%/K.而通常用于非致冷红外探测器的VO2具有微米结构,粒度为1～2μm、TCR约为-2%/K.采用同样的器件设计,制备了基于纳米结构和微米结构的VO2薄膜128元线列器件,并对两种器件的光电性能进行了对比研究.测试结果表明:基于纳米结构VO2的器件响应率较基于微米结构的VO2器件高近3倍,前者器件的探测性能较后者得到了明显的改善.
新型納米結構的二氧化釩(VO2)熱敏薄膜具有平均粒度為8 nm和在半導體相區電阻溫度繫數(TCR)為-6%～7%/K.而通常用于非緻冷紅外探測器的VO2具有微米結構,粒度為1～2μm、TCR約為-2%/K.採用同樣的器件設計,製備瞭基于納米結構和微米結構的VO2薄膜128元線列器件,併對兩種器件的光電性能進行瞭對比研究.測試結果錶明:基于納米結構VO2的器件響應率較基于微米結構的VO2器件高近3倍,前者器件的探測性能較後者得到瞭明顯的改善.
신형납미결구적이양화범(VO2)열민박막구유평균립도위8 nm화재반도체상구전조온도계수(TCR)위-6%～7%/K.이통상용우비치랭홍외탐측기적VO2구유미미결구,립도위1～2μm、TCR약위-2%/K.채용동양적기건설계,제비료기우납미결구화미미결구적VO2박막128원선렬기건,병대량충기건적광전성능진행료대비연구.측시결과표명:기우납미결구VO2적기건향응솔교기우미미결구적VO2기건고근3배,전자기건적탐측성능교후자득도료명현적개선.
