机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2009年
5期
803-807
,共5页
马新平%尚德广%刘豪%孙国芹%李承山%李德胜
馬新平%尚德廣%劉豪%孫國芹%李承山%李德勝
마신평%상덕엄%류호%손국근%리승산%리덕성
电镀铜薄膜%缺口%疲劳%弹塑性有限元
電鍍銅薄膜%缺口%疲勞%彈塑性有限元
전도동박막%결구%피로%탄소성유한원
对11.5 μm厚中间缺口电镀铜薄膜的单向拉伸疲劳断裂特性进行研究.试件采用准LIGA(lithographie, galvanformung, abformung, 光刻、电铸、塑铸的完美结合)工艺制作.试验观测发现,多数电镀铜薄试件断裂发生在缺口根部,断裂表面与缺口Y向对称轴线夹角约成12°,以沿晶断裂为主.利用弹塑性有限元分析,模拟得到断裂危险区域为缺口根部;连接危险区域边界点与缺口曲率中心的边界线,与缺口Y向对称轴线的夹角约成±14.2°范围内,与试样断裂情况相符;缺口根部断裂主要受拉伸应力控制.用Neuber方法所得结果与有限元分析结果进行对比,间接验证有限元分析结果的合理性.
對11.5 μm厚中間缺口電鍍銅薄膜的單嚮拉伸疲勞斷裂特性進行研究.試件採用準LIGA(lithographie, galvanformung, abformung, 光刻、電鑄、塑鑄的完美結閤)工藝製作.試驗觀測髮現,多數電鍍銅薄試件斷裂髮生在缺口根部,斷裂錶麵與缺口Y嚮對稱軸線夾角約成12°,以沿晶斷裂為主.利用彈塑性有限元分析,模擬得到斷裂危險區域為缺口根部;連接危險區域邊界點與缺口麯率中心的邊界線,與缺口Y嚮對稱軸線的夾角約成±14.2°範圍內,與試樣斷裂情況相符;缺口根部斷裂主要受拉伸應力控製.用Neuber方法所得結果與有限元分析結果進行對比,間接驗證有限元分析結果的閤理性.
대11.5 μm후중간결구전도동박막적단향랍신피로단렬특성진행연구.시건채용준LIGA(lithographie, galvanformung, abformung, 광각、전주、소주적완미결합)공예제작.시험관측발현,다수전도동박시건단렬발생재결구근부,단렬표면여결구Y향대칭축선협각약성12°,이연정단렬위주.이용탄소성유한원분석,모의득도단렬위험구역위결구근부;련접위험구역변계점여결구곡솔중심적변계선,여결구Y향대칭축선적협각약성±14.2°범위내,여시양단렬정황상부;결구근부단렬주요수랍신응력공제.용Neuber방법소득결과여유한원분석결과진행대비,간접험증유한원분석결과적합이성.
