CAJ | 학술논문

采用电解液微弧碳氮化技术(PECN),在钛合金表面沉积出较厚的Ti(CxN1-x)膜层,用红外光谱研究了改性过程中的气封组成,分析了膜层的形成机理.结果表明:PECN处理过程中的气相产物主要是:CH4、NH3、C2H2、CO、CO2和H2O.各气体产物来自于PECN处理过程中有机物的分解,并且气体之间存在相互作用.随放电时间延长,各气体浓度呈现不同的变化趋势,导致气封中碳、氮势随之改变,继而引起Ti(CxN1-x)膜层中C/N原子比亦相应变化.PECN过程大致可分为:阴极电解析氢、有机物的热分解以形成气封,反应气体在等离子体的作用下分解、电离产生含碳、氮活性粒子,活性粒子向试样表面扩散,在试样表面吸附并发生化学反应形成Ti(CxN1-x)膜.
채용전해액미호탄담화기술(PECN),재태합금표면침적출교후적Ti(CxN1-x)막층,용홍외광보연구료개성과정중적기봉조성,분석료막층적형성궤리.결과표명:PECN처리과정중적기상산물주요시:CH4、NH3、C2H2、CO、CO2화H2O.각기체산물래자우PECN처리과정중유궤물적분해,병차기체지간존재상호작용.수방전시간연장,각기체농도정현불동적변화추세,도치기봉중탄、담세수지개변,계이인기Ti(CxN1-x)막층중C/N원자비역상응변화.PECN과정대치가분위:음겁전해석경、유궤물적열분해이형성기봉,반응기체재등리자체적작용하분해、전리산생함탄、담활성입자,활성입자향시양표면확산,재시양표면흡부병발생화학반응형성Ti(CxN1-x)막.