材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
z2期
69-71
,共3页
卢云%侯应应%刘俊%陈大凯%于大蔚
盧雲%侯應應%劉俊%陳大凱%于大蔚
로운%후응응%류준%진대개%우대위
阳极氧化%多孔三氧化二铝薄膜%影响因素
暘極氧化%多孔三氧化二鋁薄膜%影響因素
양겁양화%다공삼양화이려박막%영향인소
研究了多孔氧化铝薄膜的制备工艺以及影响其成孔效果的主要因素.采用分步阳极氧化的方法和适当的工艺步骤获得了孔洞分布均匀、孔径一致且耐水合的多孔氧化膜,此类氧化薄膜在经过后续的特殊处理后可以用于制备湿度传感器和AAO薄膜.
研究瞭多孔氧化鋁薄膜的製備工藝以及影響其成孔效果的主要因素.採用分步暘極氧化的方法和適噹的工藝步驟穫得瞭孔洞分佈均勻、孔徑一緻且耐水閤的多孔氧化膜,此類氧化薄膜在經過後續的特殊處理後可以用于製備濕度傳感器和AAO薄膜.
연구료다공양화려박막적제비공예이급영향기성공효과적주요인소.채용분보양겁양화적방법화괄당적공예보취획득료공동분포균균、공경일치차내수합적다공양화막,차류양화박막재경과후속적특수처리후가이용우제비습도전감기화AAO박막.
