溅射于NiMnCo上的TiO2薄膜的结构与相变
천사우NiMnCo상적TiO2박막적결구여상변
Structure and Phase Change of TiO2 Films Sputtered on NiMnCo Substrates
  • 万方数据
    吉林大学学报（理学版） 길림대학학보（이학판）
    JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
    2005年 4期 517-520 ,共4页

    顾广瑞%李哲奎%林景波%李全军%郑伟涛%赵永年%金曾孙

    고엄서%리철규%림경파%리전군%정위도%조영년%금증손

    TiO2薄膜%XRD光谱%金红石%锐钛矿 TiO2薄膜%XRD光譜%金紅石%銳鈦礦
    TiO2박막%XRD광보%금홍석%예태광
    利用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜. X射线衍射结果表明, 在NiMnCo合金基底上成功地沉积了具有金红石、金红石/锐钛矿和锐钛矿结构的TiO2薄膜, 工作气压从0.2 Pa变化到2 Pa, TiO2薄膜的结构由金红石相变到锐钛矿相. 低于600 nm时, 厚度对TiO2薄膜结构没有明显影响.
    이용사빈자공천사방법이순금속태주파재재아양혼합기체중제비료TiO2박막. X사선연사결과표명, 재NiMnCo합금기저상성공지침적료구유금홍석、금홍석/예태광화예태광결구적TiO2박막, 공작기압종0.2 Pa변화도2 Pa, TiO2박막적결구유금홍석상변도예태광상. 저우600 nm시, 후도대TiO2박막결구몰유명현영향.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문