光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2006年
3期
1-4
,共4页
胡君%梁凤超%熊木地%邹振书%杜温锡%陈世辉
鬍君%樑鳳超%熊木地%鄒振書%杜溫錫%陳世輝
호군%량봉초%웅목지%추진서%두온석%진세휘
球面%激光直写%线宽%自动调焦%反馈控制
毬麵%激光直寫%線寬%自動調焦%反饋控製
구면%격광직사%선관%자동조초%반궤공제
为提高球面激光直写图形线宽均匀度,提出了球面激光直写四轴同心结构和同心扫描光学系统的方案.这种方案使得激光束经水平轴、垂直轴、光轴和工件中心轴相交于球心,经球心反射镜反射到球面工件表面上,形成激光曝光光斑.采用微小离焦探测和复合闭环控制的自动调焦技术与计算机并行工作的控制方法,确保了球面工件以垂直轴为轴心沿水平方向精密匀速旋转;激光笔绕水平轴以俯仰弧形轨迹移动且精准定位;激光束经写入物镜和调焦系统始终以圆形光点聚焦在球面上,实现了对球面任意纬度连续激光直写线条精度的可靠控制.原子力显微镜检测分析结果表明,在球面上激光直写出约3(m宽线条,线宽均匀度10%左右.
為提高毬麵激光直寫圖形線寬均勻度,提齣瞭毬麵激光直寫四軸同心結構和同心掃描光學繫統的方案.這種方案使得激光束經水平軸、垂直軸、光軸和工件中心軸相交于毬心,經毬心反射鏡反射到毬麵工件錶麵上,形成激光曝光光斑.採用微小離焦探測和複閤閉環控製的自動調焦技術與計算機併行工作的控製方法,確保瞭毬麵工件以垂直軸為軸心沿水平方嚮精密勻速鏇轉;激光筆繞水平軸以俯仰弧形軌跡移動且精準定位;激光束經寫入物鏡和調焦繫統始終以圓形光點聚焦在毬麵上,實現瞭對毬麵任意緯度連續激光直寫線條精度的可靠控製.原子力顯微鏡檢測分析結果錶明,在毬麵上激光直寫齣約3(m寬線條,線寬均勻度10%左右.
위제고구면격광직사도형선관균균도,제출료구면격광직사사축동심결구화동심소묘광학계통적방안.저충방안사득격광속경수평축、수직축、광축화공건중심축상교우구심,경구심반사경반사도구면공건표면상,형성격광폭광광반.채용미소리초탐측화복합폐배공제적자동조초기술여계산궤병행공작적공제방법,학보료구면공건이수직축위축심연수평방향정밀균속선전;격광필요수평축이부앙호형궤적이동차정준정위;격광속경사입물경화조초계통시종이원형광점취초재구면상,실현료대구면임의위도련속격광직사선조정도적가고공제.원자력현미경검측분석결과표명,재구면상격광직사출약3(m관선조,선관균균도10%좌우.
