工业计量
工業計量
공업계량
INDUSTRIAL MEASUREMENT
2008年
1期
33-34
,共2页
校准%红外膜厚测量仪%溯源
校準%紅外膜厚測量儀%溯源
교준%홍외막후측량의%소원
红外膜厚测量仪是一种测量外延层厚度和掺杂浓度的仪器,目前国家尚没有检定规程或校准规范.文章给出了一种用测量显微镜先标定样块,然后用样块校准红外膜厚测量仪的方法,并给出了测量不确定度的计算方法,使得其可溯源至国家基准.
紅外膜厚測量儀是一種測量外延層厚度和摻雜濃度的儀器,目前國傢尚沒有檢定規程或校準規範.文章給齣瞭一種用測量顯微鏡先標定樣塊,然後用樣塊校準紅外膜厚測量儀的方法,併給齣瞭測量不確定度的計算方法,使得其可溯源至國傢基準.
홍외막후측량의시일충측량외연층후도화참잡농도적의기,목전국가상몰유검정규정혹교준규범.문장급출료일충용측량현미경선표정양괴,연후용양괴교준홍외막후측량의적방법,병급출료측량불학정도적계산방법,사득기가소원지국가기준.
