北京理工大学学报
北京理工大學學報
북경리공대학학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2008年
2期
139-142
,共4页
陈永利%赵达尊%张静方%朱军%王晓利
陳永利%趙達尊%張靜方%硃軍%王曉利
진영리%조체존%장정방%주군%왕효리
亚波长光栅微结构%防伪光变图像%高频光栅构建%干涉光刻
亞波長光柵微結構%防偽光變圖像%高頻光柵構建%榦涉光刻
아파장광책미결구%방위광변도상%고빈광책구건%간섭광각
研究可见光波段亚波长防伪光栅的制做.给出了用2θ夹角一次光刻、2θ夹角摆动δ角两次光刻和2θ夹角旋转β角两次光刻等干涉光刻工艺设计和构建可见光波段亚波长光栅微结构的基本原理.优化设计的干板表面曝光量分布函数可用于构建特定面形分布的光栅微结构.制作了可见光波段的1维和2维亚波长光栅微结构,给出了其SEM和AFM实验数据和理论分析图形,检验了微结构的彩色防伪光变效果.实验结果表明:该干涉光刻工艺能够构建出表面光滑、深度较大的复杂光栅微结构,并能展现出一定的彩色光变效果.
研究可見光波段亞波長防偽光柵的製做.給齣瞭用2θ夾角一次光刻、2θ夾角襬動δ角兩次光刻和2θ夾角鏇轉β角兩次光刻等榦涉光刻工藝設計和構建可見光波段亞波長光柵微結構的基本原理.優化設計的榦闆錶麵曝光量分佈函數可用于構建特定麵形分佈的光柵微結構.製作瞭可見光波段的1維和2維亞波長光柵微結構,給齣瞭其SEM和AFM實驗數據和理論分析圖形,檢驗瞭微結構的綵色防偽光變效果.實驗結果錶明:該榦涉光刻工藝能夠構建齣錶麵光滑、深度較大的複雜光柵微結構,併能展現齣一定的綵色光變效果.
연구가견광파단아파장방위광책적제주.급출료용2θ협각일차광각、2θ협각파동δ각량차광각화2θ협각선전β각량차광각등간섭광각공예설계화구건가견광파단아파장광책미결구적기본원리.우화설계적간판표면폭광량분포함수가용우구건특정면형분포적광책미결구.제작료가견광파단적1유화2유아파장광책미결구,급출료기SEM화AFM실험수거화이론분석도형,검험료미결구적채색방위광변효과.실험결과표명:해간섭광각공예능구구건출표면광활、심도교대적복잡광책미결구,병능전현출일정적채색광변효과.
