核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2009年
3期
233-236
,共4页
解志文%王浪平%王小峰%闫久春%黄磊%陆洋
解誌文%王浪平%王小峰%閆久春%黃磊%陸洋
해지문%왕랑평%왕소봉%염구춘%황뢰%륙양
等离子体浸没离子注入与沉积%结合强度%纳米多层薄膜
等離子體浸沒離子註入與沉積%結閤彊度%納米多層薄膜
등리자체침몰리자주입여침적%결합강도%납미다층박막
采用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)技术在2Cr13钢表面制备了Ti/DLC纳米多层薄膜.分析了膜层的微观结构和机械特性.实验结果表明:纳米多层膜具有完整、清晰的调制层结构,薄膜的显微硬度均得到明显的提高.硬度较低的膜层具有较好的膜基结合强度和优良的摩擦性能,从综合性能看:纳米多层薄膜保持了类金刚石(DLC)薄膜低摩擦系数的特性,具有良好的承载能力以及膜一基结合特性.
採用等離子體浸沒離子註入與沉積(PⅢ&D)技術在2Cr13鋼錶麵製備瞭Ti/DLC納米多層薄膜.分析瞭膜層的微觀結構和機械特性.實驗結果錶明:納米多層膜具有完整、清晰的調製層結構,薄膜的顯微硬度均得到明顯的提高.硬度較低的膜層具有較好的膜基結閤彊度和優良的摩抆性能,從綜閤性能看:納米多層薄膜保持瞭類金剛石(DLC)薄膜低摩抆繫數的特性,具有良好的承載能力以及膜一基結閤特性.
채용등리자체침몰리자주입여침적(PⅢ&D)기술재2Cr13강표면제비료Ti/DLC납미다층박막.분석료막층적미관결구화궤계특성.실험결과표명:납미다층막구유완정、청석적조제층결구,박막적현미경도균득도명현적제고.경도교저적막층구유교호적막기결합강도화우량적마찰성능,종종합성능간:납미다층박막보지료류금강석(DLC)박막저마찰계수적특성,구유량호적승재능력이급막일기결합특성.
