电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2010年
8期
44-47
,共4页
曾令宏%韦世良%钟志有%顾锦华
曾令宏%韋世良%鐘誌有%顧錦華
증령굉%위세량%종지유%고금화
RF磁控溅射%AZO薄膜%薄膜结构%光电性能
RF磁控濺射%AZO薄膜%薄膜結構%光電性能
RF자공천사%AZO박막%박막결구%광전성능
采用RF磁控溅射法制备了掺铝ZnO(AZO)透明导电薄膜,用X射线衍射仪、分光光度计和四探针仪等,研究了沉积温度对薄膜晶体结构和光电性能的影响.结果表明,AZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)择优取向.沉积温度对薄膜的择优取向程度、晶粒尺寸,透射率和导电性能等具有明显的影响.当沉积温度为400℃时,AZO薄膜最大晶粒尺寸为37.21 nm、可见光范围平均透射率为85.5%、优良指数为1.30×10-2Ω-1.
採用RF磁控濺射法製備瞭摻鋁ZnO(AZO)透明導電薄膜,用X射線衍射儀、分光光度計和四探針儀等,研究瞭沉積溫度對薄膜晶體結構和光電性能的影響.結果錶明,AZO薄膜為六方纖鋅礦結構的多晶膜,具有(002)擇優取嚮.沉積溫度對薄膜的擇優取嚮程度、晶粒呎吋,透射率和導電性能等具有明顯的影響.噹沉積溫度為400℃時,AZO薄膜最大晶粒呎吋為37.21 nm、可見光範圍平均透射率為85.5%、優良指數為1.30×10-2Ω-1.
채용RF자공천사법제비료참려ZnO(AZO)투명도전박막,용X사선연사의、분광광도계화사탐침의등,연구료침적온도대박막정체결구화광전성능적영향.결과표명,AZO박막위륙방섬자광결구적다정막,구유(002)택우취향.침적온도대박막적택우취향정도、정립척촌,투사솔화도전성능등구유명현적영향.당침적온도위400℃시,AZO박막최대정립척촌위37.21 nm、가견광범위평균투사솔위85.5%、우량지수위1.30×10-2Ω-1.
