CAJ | 학술논문

为改进以醇盐为原料溶胶-凝胶制备LaNiO3(LNO)薄膜工艺中存在的诸多苛刻因素,本文以无机盐为原料,利用湿化学工艺在硅衬底上制备了LNO薄膜,La(NO3)3·6H2O和Ni(NO3)2·6H2O冰醋酸溶液通过配体交换形成金属醋酸盐的冰醋酸溶液,回流时用乙酸酐(CH3CO)2O除硝酸根和结晶水,而乙酰丙酮(AcAc)部分取代醋酸盐分子中的醋酸根而形成的M(OAc)n-x(AcAc)x(M=La3+或Ni2+)能部分水解形成M(OH)n-x(AcAc)x.该羟基金属离子通过羟基聚合并与甲基纤维素(MCL)形成线状结构LNO溶胶,易于成膜.LNO薄膜经过550-850℃/60min退火形成多晶膺立方钙钛矿结构,其晶格参数a=3.84(A).四引线法测定厚度0.6μmLNO薄膜电阻率与温度的变化在-163-150℃之间能符合ρ=ρ0+AT2关系式.在1KHz测试频率下,测得Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)(52/48)薄膜剩余极化强度Pr在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si衬底和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上分别为19.6和23.5μC·cm-2,矫顽场分别为76.1和85.1 kV·cm-1.
위개진이순염위원료용효-응효제비LaNiO3(LNO)박막공예중존재적제다가각인소,본문이무궤염위원료,이용습화학공예재규츤저상제비료LNO박막,La(NO3)3·6H2O화Ni(NO3)2·6H2O빙작산용액통과배체교환형성금속작산염적빙작산용액,회류시용을산항(CH3CO)2O제초산근화결정수,이을선병동(AcAc)부분취대작산염분자중적작산근이형성적M(OAc)n-x(AcAc)x(M=La3+혹Ni2+)능부분수해형성M(OH)n-x(AcAc)x.해간기금속리자통과간기취합병여갑기섬유소(MCL)형성선상결구LNO용효,역우성막.LNO박막경과550-850℃/60min퇴화형성다정응립방개태광결구,기정격삼수a=3.84(A).사인선법측정후도0.6μmLNO박막전조솔여온도적변화재-163-150℃지간능부합ρ=ρ0+AT2관계식.재1KHz측시빈솔하,측득Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)(52/48)박막잉여겁화강도Pr재LNO/Pt/Ti/SiO2/Si츤저화Pt/Ti/SiO2/Si츤저상분별위19.6화23.5μC·cm-2,교완장분별위76.1화85.1 kV·cm-1.