润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2011年
7期
70-74
,共5页
张延帅%周晖%万志华%桑瑞鹏%郑军
張延帥%週暉%萬誌華%桑瑞鵬%鄭軍
장연수%주휘%만지화%상서붕%정군
射频磁控溅射%MoS2-Sb2O3复合薄膜%靶功率%结构和性能
射頻磁控濺射%MoS2-Sb2O3複閤薄膜%靶功率%結構和性能
사빈자공천사%MoS2-Sb2O3복합박막%파공솔%결구화성능
采用射频磁控溅射技术制备MoS2-Sb2O3复合薄膜,研究靶功率对薄膜性能和结构的影响.利用XRD、XRF分析薄膜的成分和结构,用CSM薄膜综合性能仪测试薄膜的硬度及附着力,通过承载力试验测试薄膜的承载性能,使用真空球—盘摩擦试验机测试真空和大气下薄膜的摩擦因数及耐磨寿命.结果表明:使用射频磁控溅射制备的MoS2Sb2O3复合薄膜具有准非晶结构,其薄膜结构和成分受沉积时的靶功率影响；MoS2 -Sb2O3复合薄膜在真空下具有比大气下更稳定的摩擦学性能,更长的耐磨寿命；提高溅射原子能量能有效地提高MoS2-Sb2O3复合薄膜的承载性能,减少薄膜的内应力,提高薄膜的附着力,提高薄膜的耐磨寿命.
採用射頻磁控濺射技術製備MoS2-Sb2O3複閤薄膜,研究靶功率對薄膜性能和結構的影響.利用XRD、XRF分析薄膜的成分和結構,用CSM薄膜綜閤性能儀測試薄膜的硬度及附著力,通過承載力試驗測試薄膜的承載性能,使用真空毬—盤摩抆試驗機測試真空和大氣下薄膜的摩抆因數及耐磨壽命.結果錶明:使用射頻磁控濺射製備的MoS2Sb2O3複閤薄膜具有準非晶結構,其薄膜結構和成分受沉積時的靶功率影響；MoS2 -Sb2O3複閤薄膜在真空下具有比大氣下更穩定的摩抆學性能,更長的耐磨壽命；提高濺射原子能量能有效地提高MoS2-Sb2O3複閤薄膜的承載性能,減少薄膜的內應力,提高薄膜的附著力,提高薄膜的耐磨壽命.
채용사빈자공천사기술제비MoS2-Sb2O3복합박막,연구파공솔대박막성능화결구적영향.이용XRD、XRF분석박막적성분화결구,용CSM박막종합성능의측시박막적경도급부착력,통과승재력시험측시박막적승재성능,사용진공구—반마찰시험궤측시진공화대기하박막적마찰인수급내마수명.결과표명:사용사빈자공천사제비적MoS2Sb2O3복합박막구유준비정결구,기박막결구화성분수침적시적파공솔영향；MoS2 -Sb2O3복합박막재진공하구유비대기하경은정적마찰학성능,경장적내마수명；제고천사원자능량능유효지제고MoS2-Sb2O3복합박막적승재성능,감소박막적내응력,제고박막적부착력,제고박막적내마수명.
