合肥工业大学学报（自然科学版）
閤肥工業大學學報（自然科學版）
합비공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2012年
4期
496-498,551
,共4页
减反射薄膜%磁控溅射%制备工艺%薄膜性能
減反射薄膜%磁控濺射%製備工藝%薄膜性能
감반사박막%자공천사%제비공예%박막성능
由于减反射薄膜的性能受制备工艺的影响很大,文章采用SiO2和TiO2作为低、高折射率膜料,采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了多层减反射膜系,研究了制备工艺对薄膜性能的影响,从理论和实验2个方面得出了制备的多层减反射膜系在450～625 nm波段具有明显的增透效果,在520 nm处有98％的透过率.
由于減反射薄膜的性能受製備工藝的影響很大,文章採用SiO2和TiO2作為低、高摺射率膜料,採用磁控濺射法在玻璃基片上製備瞭多層減反射膜繫,研究瞭製備工藝對薄膜性能的影響,從理論和實驗2箇方麵得齣瞭製備的多層減反射膜繫在450～625 nm波段具有明顯的增透效果,在520 nm處有98％的透過率.
유우감반사박막적성능수제비공예적영향흔대,문장채용SiO2화TiO2작위저、고절사솔막료,채용자공천사법재파리기편상제비료다층감반사막계,연구료제비공예대박막성능적영향,종이론화실험2개방면득출료제비적다층감반사막계재450～625 nm파단구유명현적증투효과,재520 nm처유98％적투과솔.
