超硬材料工程
超硬材料工程
초경재료공정
SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
2012年
2期
1-4
,共4页
化学气相沉积(CVD)%金刚石涂层%硬质合金%彤核密度
化學氣相沉積(CVD)%金剛石塗層%硬質閤金%彤覈密度
화학기상침적(CVD)%금강석도층%경질합금%동핵밀도
采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金基体上进行金刚石的形核生长,使用扫描电镜(SEM)对金刚石涂层形核情况进行分析,研究了不同形核密度对CVD金刚石涂层附着力的影响.结果表明:当碳源浓度达到3％时,表面形核密度最高,约为107/cm2；浓度增大为4％时,形核密度降低.通过压痕实验对比分析得出形核工艺中碳源浓度为3％时沉积的金刚石涂层压痕最浅,压痕直径最小,金刚石涂层具有良好的附着性能.
採用熱絲化學氣相沉積法(HFCVD)在硬質閤金基體上進行金剛石的形覈生長,使用掃描電鏡(SEM)對金剛石塗層形覈情況進行分析,研究瞭不同形覈密度對CVD金剛石塗層附著力的影響.結果錶明:噹碳源濃度達到3％時,錶麵形覈密度最高,約為107/cm2；濃度增大為4％時,形覈密度降低.通過壓痕實驗對比分析得齣形覈工藝中碳源濃度為3％時沉積的金剛石塗層壓痕最淺,壓痕直徑最小,金剛石塗層具有良好的附著性能.
채용열사화학기상침적법(HFCVD)재경질합금기체상진행금강석적형핵생장,사용소묘전경(SEM)대금강석도층형핵정황진행분석,연구료불동형핵밀도대CVD금강석도층부착력적영향.결과표명:당탄원농도체도3％시,표면형핵밀도최고,약위107/cm2；농도증대위4％시,형핵밀도강저.통과압흔실험대비분석득출형핵공예중탄원농도위3％시침적적금강석도층압흔최천,압흔직경최소,금강석도층구유량호적부착성능.
