电子与信息学报
電子與信息學報
전자여신식학보
JOURNAL OF ELECTRONICS & INFORMATION TECHNOLOGY
2002年
7期
1005-1008
,共4页
王小霞%廖显恒%赵青兰%余晓军%张济忠
王小霞%廖顯恆%趙青蘭%餘曉軍%張濟忠
왕소하%료현항%조청란%여효군%장제충
栅发射%离子束辅助沉积%化合物
柵髮射%離子束輔助沉積%化閤物
책발사%리자속보조침적%화합물
利用离子束辅助沉积技术在Mo栅极上镀上并注入一层Hf膜,对镀后的样品进行了形貌、结构、成份、膜厚及Mo、Hf界面分析.将样品进行电子管模拟栅发射试验,栅极温度为650℃,试验 1000h以上基本无栅发射电流,可以提高栅控管的可靠性和寿命.实验结果表明,阴极中的活性物质Ba蒸发到镀Hf 的 Mo 栅极表面,Ba,Hf和O2 能形成化合物,从而有效抑制栅极发射电流.
利用離子束輔助沉積技術在Mo柵極上鍍上併註入一層Hf膜,對鍍後的樣品進行瞭形貌、結構、成份、膜厚及Mo、Hf界麵分析.將樣品進行電子管模擬柵髮射試驗,柵極溫度為650℃,試驗 1000h以上基本無柵髮射電流,可以提高柵控管的可靠性和壽命.實驗結果錶明,陰極中的活性物質Ba蒸髮到鍍Hf 的 Mo 柵極錶麵,Ba,Hf和O2 能形成化閤物,從而有效抑製柵極髮射電流.
이용리자속보조침적기술재Mo책겁상도상병주입일층Hf막,대도후적양품진행료형모、결구、성빈、막후급Mo、Hf계면분석.장양품진행전자관모의책발사시험,책겁온도위650℃,시험 1000h이상기본무책발사전류,가이제고책공관적가고성화수명.실험결과표명,음겁중적활성물질Ba증발도도Hf 적 Mo 책겁표면,Ba,Hf화O2 능형성화합물,종이유효억제책겁발사전류.
