半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2004年
11期
45-48
,共4页
牛健%陈国鹰%花吉珍%赵卫青
牛健%陳國鷹%花吉珍%趙衛青
우건%진국응%화길진%조위청
晶片键合技术%脊波导%激光器
晶片鍵閤技術%脊波導%激光器
정편건합기술%척파도%격광기
针对于普通外延生长GaAs衬底激光器材料中存在的位错严重、热胀系数不匹配等问题,总结了国外键合工艺,将其应用于发光波长为850nm的AlGaAs脊波导量子阱激光器的制造,并提出了键合过程中各项关键步骤应注意的问题和解决方法.
針對于普通外延生長GaAs襯底激光器材料中存在的位錯嚴重、熱脹繫數不匹配等問題,總結瞭國外鍵閤工藝,將其應用于髮光波長為850nm的AlGaAs脊波導量子阱激光器的製造,併提齣瞭鍵閤過程中各項關鍵步驟應註意的問題和解決方法.
침대우보통외연생장GaAs츤저격광기재료중존재적위착엄중、열창계수불필배등문제,총결료국외건합공예,장기응용우발광파장위850nm적AlGaAs척파도양자정격광기적제조,병제출료건합과정중각항관건보취응주의적문제화해결방법.
