陶瓷学报
陶瓷學報
도자학보
JOURNAL OF CERAMICS
2008年
2期
170-182
,共13页
李新起%Yan Xiaomeng%方俊武%Dong Binchao%高朋召
李新起%Yan Xiaomeng%方俊武%Dong Binchao%高朋召
리신기%Yan Xiaomeng%방준무%Dong Binchao%고붕소
无机膜%制备工艺%成膜机理
無機膜%製備工藝%成膜機理
무궤막%제비공예%성막궤리
综述了近10年无机膜的制备工艺、改性及成膜机理方面的研究进展.制备工艺包括溶胶一凝胶法、化学气相沉积法、阳极氧化法、磁控溅射法、喷雾热分解法等.成膜机理主要包括化学或物理过程以及相应的数学模型.
綜述瞭近10年無機膜的製備工藝、改性及成膜機理方麵的研究進展.製備工藝包括溶膠一凝膠法、化學氣相沉積法、暘極氧化法、磁控濺射法、噴霧熱分解法等.成膜機理主要包括化學或物理過程以及相應的數學模型.
종술료근10년무궤막적제비공예、개성급성막궤리방면적연구진전.제비공예포괄용효일응효법、화학기상침적법、양겁양화법、자공천사법、분무열분해법등.성막궤리주요포괄화학혹물리과정이급상응적수학모형.
