航天器环境工程
航天器環境工程
항천기배경공정
SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING
2008年
5期
444-446
,共3页
田东波%于钱%闫少光%涂伟霞
田東波%于錢%閆少光%塗偉霞
전동파%우전%염소광%도위하
QCM%线性关系%质量敏感性%测厚
QCM%線性關繫%質量敏感性%測厚
QCM%선성관계%질량민감성%측후
石英晶体微量天平(QCM)是测量气相薄膜沉积质量的精密仪器.QCM质量和频率的相互作用受到众多不确定因素的影响,因此需要进行验证以取得更为精确的结果.文章从石英晶片的基本理论出发,以薄膜测厚为基础,研究了气相沉积石英晶体微量天平差频变化率和沉积厚度变化率成线性关系,阐述了线性关系是验证石英晶体微量天平的关键,并对测厚验证质量敏感性的可行性进行了分析.
石英晶體微量天平(QCM)是測量氣相薄膜沉積質量的精密儀器.QCM質量和頻率的相互作用受到衆多不確定因素的影響,因此需要進行驗證以取得更為精確的結果.文章從石英晶片的基本理論齣髮,以薄膜測厚為基礎,研究瞭氣相沉積石英晶體微量天平差頻變化率和沉積厚度變化率成線性關繫,闡述瞭線性關繫是驗證石英晶體微量天平的關鍵,併對測厚驗證質量敏感性的可行性進行瞭分析.
석영정체미량천평(QCM)시측량기상박막침적질량적정밀의기.QCM질량화빈솔적상호작용수도음다불학정인소적영향,인차수요진행험증이취득경위정학적결과.문장종석영정편적기본이론출발,이박막측후위기출,연구료기상침적석영정체미량천평차빈변화솔화침적후도변화솔성선성관계,천술료선성관계시험증석영정체미량천평적관건,병대측후험증질량민감성적가행성진행료분석.
