光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
3期
520-528
,共9页
王孝坤%王丽辉%邓伟杰%郑立功
王孝坤%王麗輝%鄧偉傑%鄭立功
왕효곤%왕려휘%산위걸%정립공
光学检测%圆形子孔径拼接干涉%环形子孔径拼接干涉%大口径非球面%最小二乘拟合
光學檢測%圓形子孔徑拼接榦涉%環形子孔徑拼接榦涉%大口徑非毬麵%最小二乘擬閤
광학검측%원형자공경병접간섭%배형자공경병접간섭%대구경비구면%최소이승의합
研究了利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的方法,以实现非零位补偿法对大口径非球面的测量.分析和研究了该技术的基本原理,并基于齐次坐标变换和最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;分别开发了圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的算法软件;设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置,并分别利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接实现了对一口径为350 mm的双曲面的检测.对待测非球面进行了零位补偿检测实验,结果显示,圆形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.031λ和0.004λ;环形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.028λ和0.006λ;3种方法测量所得的面形分布都是一致的.所提出的方法提供了除零位补偿检测外的另一种定量测试大口径非球面的手段.
研究瞭利用圓形子孔徑拼接和環形子孔徑拼接檢測非毬麵的方法,以實現非零位補償法對大口徑非毬麵的測量.分析和研究瞭該技術的基本原理,併基于齊次坐標變換和最小二乘擬閤建立瞭綜閤優化和誤差均化的拼接數學模型;分彆開髮瞭圓形子孔徑拼接和環形子孔徑拼接檢測非毬麵的算法軟件;設計和搭建瞭子孔徑拼接榦涉檢測裝置,併分彆利用圓形子孔徑拼接和環形子孔徑拼接實現瞭對一口徑為350 mm的雙麯麵的檢測.對待測非毬麵進行瞭零位補償檢測實驗,結果顯示,圓形子孔徑拼接與全口徑補償測量結果的PV值和RMS值的偏差分彆為0.031λ和0.004λ;環形子孔徑拼接與全口徑補償測量結果的PV值和RMS值的偏差分彆為0.028λ和0.006λ;3種方法測量所得的麵形分佈都是一緻的.所提齣的方法提供瞭除零位補償檢測外的另一種定量測試大口徑非毬麵的手段.
연구료이용원형자공경병접화배형자공경병접검측비구면적방법,이실현비령위보상법대대구경비구면적측량.분석화연구료해기술적기본원리,병기우제차좌표변환화최소이승의합건립료종합우화화오차균화적병접수학모형;분별개발료원형자공경병접화배형자공경병접검측비구면적산법연건;설계화탑건료자공경병접간섭검측장치,병분별이용원형자공경병접화배형자공경병접실현료대일구경위350 mm적쌍곡면적검측.대대측비구면진행료령위보상검측실험,결과현시,원형자공경병접여전구경보상측량결과적PV치화RMS치적편차분별위0.031λ화0.004λ;배형자공경병접여전구경보상측량결과적PV치화RMS치적편차분별위0.028λ화0.006λ;3충방법측량소득적면형분포도시일치적.소제출적방법제공료제령위보상검측외적령일충정량측시대구경비구면적수단.
