CAJ | 학술논문

万方数据

半导体学报 반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年 z1期 545-547 ,共3页

Zhao Desheng%赵德胜%张书明%朱建军%赵德刚%段俐宏%张宝顺%杨辉

Zhao Desheng%조덕성%장서명%주건군%조덕강%단리굉%장보순%양휘

王水%p-GaN%Ni/Au%XPS%比接触电阻率王水%p-GaN%Ni/Au%XPS%比接觸電阻率
왕수%p-GaN%Ni/Au%XPS%비접촉전조솔

研究了王水溶液对p-GaN欧姆接触特性的作用.在蒸镀欧姆电极之前采用王水溶液对表面进行处理,使p-GaN的比接触电阻从8×10-3降低到2.9×10-4Ω·cm2.利用X射线光电子谱(XPS)对p-GaN表面氧含量进行分析,结果表明王水可以有效地去除p-GaN表面的氧化物,从而改善p-GaN的欧姆接触特性.
연구료왕수용액대p-GaN구모접촉특성적작용.재증도구모전겁지전채용왕수용액대표면진행처리,사p-GaN적비접촉전조종8×10-3강저도2.9×10-4Ω·cm2.이용X사선광전자보(XPS)대p-GaN표면양함량진행분석,결과표명왕수가이유효지거제p-GaN표면적양화물,종이개선p-GaN적구모접촉특성.