山东建筑大学学报
山東建築大學學報
산동건축대학학보
JOURNAL OF SHANDONG JIANZHU UNIVERSITY
2008年
1期
50-53
,共4页
张伟%范素华%张丰庆%冯博楷%马建平%车全德
張偉%範素華%張豐慶%馮博楷%馬建平%車全德
장위%범소화%장봉경%풍박해%마건평%차전덕
钙锶铋钛钕薄膜%铁电性能%Sol-Gel法%单层膜厚
鈣鍶鉍鈦釹薄膜%鐵電性能%Sol-Gel法%單層膜厚
개송필태녀박막%철전성능%Sol-Gel법%단층막후
采用Sol-Gel法和层层快速退火工艺,通过控制甩膜转速在Pt/Ti/SiO2/Si 基片上制备了单层膜厚不同的钙锶铋钛钕(C0.4S0.6NT)铁电薄膜.研究了单层膜厚对于C0.4S0.6NT铁电薄膜的结构及性能的影响.研究结果表明:适当的单层膜厚有利于薄膜在(200)方向的择优取向,有利于薄膜的铁电性能.单层膜厚为60nm时,C0.4S0.6NT薄膜具有优良的铁电性能,2Pr和2Ec分别为24.155μC/cm2、148.412kV/cm,具有较高的应用价值..
採用Sol-Gel法和層層快速退火工藝,通過控製甩膜轉速在Pt/Ti/SiO2/Si 基片上製備瞭單層膜厚不同的鈣鍶鉍鈦釹(C0.4S0.6NT)鐵電薄膜.研究瞭單層膜厚對于C0.4S0.6NT鐵電薄膜的結構及性能的影響.研究結果錶明:適噹的單層膜厚有利于薄膜在(200)方嚮的擇優取嚮,有利于薄膜的鐵電性能.單層膜厚為60nm時,C0.4S0.6NT薄膜具有優良的鐵電性能,2Pr和2Ec分彆為24.155μC/cm2、148.412kV/cm,具有較高的應用價值..
채용Sol-Gel법화층층쾌속퇴화공예,통과공제솔막전속재Pt/Ti/SiO2/Si 기편상제비료단층막후불동적개송필태녀(C0.4S0.6NT)철전박막.연구료단층막후대우C0.4S0.6NT철전박막적결구급성능적영향.연구결과표명:괄당적단층막후유리우박막재(200)방향적택우취향,유리우박막적철전성능.단층막후위60nm시,C0.4S0.6NT박막구유우량적철전성능,2Pr화2Ec분별위24.155μC/cm2、148.412kV/cm,구유교고적응용개치..
