光散射学报
光散射學報
광산사학보
CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
2008年
4期
338-341
,共4页
伍晓明%郁鉴源%任天令%刘理天
伍曉明%鬱鑒源%任天令%劉理天
오효명%욱감원%임천령%류리천
显微Raman%激光加热%Raman频移
顯微Raman%激光加熱%Raman頻移
현미Raman%격광가열%Raman빈이
本文从理论和实验两方面研究了显微Raman光谱测量中,激光功率对单晶硅样品测量的影响.由于显微Raman光谱仪对激光的聚焦作用,使得激光对不同厚度的样品具有微区加热作用,被测样品产生不同程度的温升,从而对显微Raman光谱仪在硅材料应力和温度的测量中产生影响.实验结果证明,对无限厚硅样品,20 mW的激光使Raman频移达到0.15 cm-1;而对2 μm厚的热薄硅样品,26 mW的激光使Raman频移达到4.47 cm-1.
本文從理論和實驗兩方麵研究瞭顯微Raman光譜測量中,激光功率對單晶硅樣品測量的影響.由于顯微Raman光譜儀對激光的聚焦作用,使得激光對不同厚度的樣品具有微區加熱作用,被測樣品產生不同程度的溫升,從而對顯微Raman光譜儀在硅材料應力和溫度的測量中產生影響.實驗結果證明,對無限厚硅樣品,20 mW的激光使Raman頻移達到0.15 cm-1;而對2 μm厚的熱薄硅樣品,26 mW的激光使Raman頻移達到4.47 cm-1.
본문종이론화실험량방면연구료현미Raman광보측량중,격광공솔대단정규양품측량적영향.유우현미Raman광보의대격광적취초작용,사득격광대불동후도적양품구유미구가열작용,피측양품산생불동정도적온승,종이대현미Raman광보의재규재료응력화온도적측량중산생영향.실험결과증명,대무한후규양품,20 mW적격광사Raman빈이체도0.15 cm-1;이대2 μm후적열박규양품,26 mW적격광사Raman빈이체도4.47 cm-1.
