人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
1期
74-78
,共5页
周阳%仇满德%付跃举%邢金柱%霍骥川%彭英才%刘保亭
週暘%仇滿德%付躍舉%邢金柱%霍驥川%彭英纔%劉保亭
주양%구만덕%부약거%형금주%곽기천%팽영재%류보정
ZnO薄膜%射频磁控溅射%外延生长
ZnO薄膜%射頻磁控濺射%外延生長
ZnO박막%사빈자공천사%외연생장
在室温条件下,采用磁控溅射方法在蓝宝石(0001)衬底上制备了外延的ZnO薄膜.采用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、可见-紫外分光光度计系统研究了ZnO薄膜微观结构和光学特性.AFM测量结果表明ZnO薄膜具有较为均匀的ZnO晶粒,表面平整,具有较小的均方根粗糙度(0.9 nm);X射线衍射结果表明制备的ZnO薄膜为具有六角纤锌矿结构的外延薄膜;光学透射谱显示样品在可见光范围内具有较高的透过性,并在370 nm附近出现一个较陡的吸收边,表明在室温下制备出了具有较高质量的ZnO薄膜.
在室溫條件下,採用磁控濺射方法在藍寶石(0001)襯底上製備瞭外延的ZnO薄膜.採用原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射儀(XRD)、可見-紫外分光光度計繫統研究瞭ZnO薄膜微觀結構和光學特性.AFM測量結果錶明ZnO薄膜具有較為均勻的ZnO晶粒,錶麵平整,具有較小的均方根粗糙度(0.9 nm);X射線衍射結果錶明製備的ZnO薄膜為具有六角纖鋅礦結構的外延薄膜;光學透射譜顯示樣品在可見光範圍內具有較高的透過性,併在370 nm附近齣現一箇較陡的吸收邊,錶明在室溫下製備齣瞭具有較高質量的ZnO薄膜.
재실온조건하,채용자공천사방법재람보석(0001)츤저상제비료외연적ZnO박막.채용원자력현미경(AFM)、X사선연사의(XRD)、가견-자외분광광도계계통연구료ZnO박막미관결구화광학특성.AFM측량결과표명ZnO박막구유교위균균적ZnO정립,표면평정,구유교소적균방근조조도(0.9 nm);X사선연사결과표명제비적ZnO박막위구유륙각섬자광결구적외연박막;광학투사보현시양품재가견광범위내구유교고적투과성,병재370 nm부근출현일개교두적흡수변,표명재실온하제비출료구유교고질량적ZnO박막.
