微电机
微電機
미전궤
MICROMOTORS SERVO TECHNIQUE
2010年
8期
75-78
,共4页
微机电系统(MEMS)%旋转式发电机%结构%材料%工艺
微機電繫統(MEMS)%鏇轉式髮電機%結構%材料%工藝
미궤전계통(MEMS)%선전식발전궤%결구%재료%공예
基于MEMS技术的微发电机体积小、可长期使用,成为研究的热点.目前微发电机主要分为振动式和旋转式两大类:振动式微发电机结构简单,但能量密度小;旋转式微发电机可在高转速下工作,产生高的能量密度.描述了旋转式微发电机的工作原理与特点.着重介绍了旋转式微发电机的研究现状,列举了典型的研究成果,总结了其所用的结构、材料和加工工艺.指出了旋转式微发电机的发展趋势,即寻求简化装配、适合大批量生产的材料与工艺.旋转式微发电机的出现,使"小机器产生大功率"的设想成为可能.
基于MEMS技術的微髮電機體積小、可長期使用,成為研究的熱點.目前微髮電機主要分為振動式和鏇轉式兩大類:振動式微髮電機結構簡單,但能量密度小;鏇轉式微髮電機可在高轉速下工作,產生高的能量密度.描述瞭鏇轉式微髮電機的工作原理與特點.著重介紹瞭鏇轉式微髮電機的研究現狀,列舉瞭典型的研究成果,總結瞭其所用的結構、材料和加工工藝.指齣瞭鏇轉式微髮電機的髮展趨勢,即尋求簡化裝配、適閤大批量生產的材料與工藝.鏇轉式微髮電機的齣現,使"小機器產生大功率"的設想成為可能.
기우MEMS기술적미발전궤체적소、가장기사용,성위연구적열점.목전미발전궤주요분위진동식화선전식량대류:진동식미발전궤결구간단,단능량밀도소;선전식미발전궤가재고전속하공작,산생고적능량밀도.묘술료선전식미발전궤적공작원리여특점.착중개소료선전식미발전궤적연구현상,열거료전형적연구성과,총결료기소용적결구、재료화가공공예.지출료선전식미발전궤적발전추세,즉심구간화장배、괄합대비량생산적재료여공예.선전식미발전궤적출현,사"소궤기산생대공솔"적설상성위가능.
