天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
3期
45-48
,共4页
孙延东%颜景岳%张帅%董磊%曹猛%刘梦寅%李德军
孫延東%顏景嶽%張帥%董磊%曹猛%劉夢寅%李德軍
손연동%안경악%장수%동뢰%조맹%류몽인%리덕군
离子束辅助沉积%TiA1N/TiB2纳米多层膜%硬度
離子束輔助沉積%TiA1N/TiB2納米多層膜%硬度
리자속보조침적%TiA1N/TiB2납미다층막%경도
运用离子束辅助沉积法(IBAD)制备了一系列具有不同调制比例的TiAlN/TiB2纳米多层膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕等表征手段研究了薄膜调制比例对其硬度、内应力和膜基结合力等力学性质的影响.结果表明:随着调制比例从8∶1变化到25∶1,多层膜的硬度在29～34 GPa之间变化,所有多层膜的硬度均高于TiAlN和TiB2两种各体层材料通过混合法则得的结果,结合XRD结果分析认为,TiAlN(111)择优取向是薄膜硬度升高的一个重要原因.
運用離子束輔助沉積法(IBAD)製備瞭一繫列具有不同調製比例的TiAlN/TiB2納米多層膜,利用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)和納米壓痕等錶徵手段研究瞭薄膜調製比例對其硬度、內應力和膜基結閤力等力學性質的影響.結果錶明:隨著調製比例從8∶1變化到25∶1,多層膜的硬度在29～34 GPa之間變化,所有多層膜的硬度均高于TiAlN和TiB2兩種各體層材料通過混閤法則得的結果,結閤XRD結果分析認為,TiAlN(111)擇優取嚮是薄膜硬度升高的一箇重要原因.
운용리자속보조침적법(IBAD)제비료일계렬구유불동조제비례적TiAlN/TiB2납미다층막,이용X사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화납미압흔등표정수단연구료박막조제비례대기경도、내응력화막기결합력등역학성질적영향.결과표명:수착조제비례종8∶1변화도25∶1,다층막적경도재29～34 GPa지간변화,소유다층막적경도균고우TiAlN화TiB2량충각체층재료통과혼합법칙득적결과,결합XRD결과분석인위,TiAlN(111)택우취향시박막경도승고적일개중요원인.
