大型真空装置漏放率的动态质谱测量法
대형진공장치루방솔적동태질보측량법
QMS methods for dynamic measurement of leak and outgassing rate of large vacuum chamber
  • 万方数据
    核聚变与等离子体物理 핵취변여등리자체물리
    NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
    2005年 3期 233-236 ,共4页

    王志文%谢世标%韦卫星

    왕지문%사세표%위위성

    质谱分析%漏放率%检测 質譜分析%漏放率%檢測
    질보분석%루방솔%검측
    根据质谱分析技术和气体动力学方程,提出了一种用质谱测量法对大型真空装置漏放率的测试方法.结合计算机技术能对装置运行状态的漏放率进行巡回检测,并成功地应用于HL-1M装置.
    근거질보분석기술화기체동역학방정,제출료일충용질보측량법대대형진공장치루방솔적측시방법.결합계산궤기술능대장치운행상태적루방솔진행순회검측,병성공지응용우HL-1M장치.
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