光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2005年
6期
53-57
,共5页
李广波%龙文华%贾科淼%江晓清%王明华%王跃林%杨建义
李廣波%龍文華%賈科淼%江曉清%王明華%王躍林%楊建義
리엄파%룡문화%가과묘%강효청%왕명화%왕약림%양건의
集成光学%光波导%硅%键合
集成光學%光波導%硅%鍵閤
집성광학%광파도%규%건합
采用硅-玻璃键合和选择性腐蚀技术研制出了玻璃上硅(SOG)光波导材料.所研制出的光波导材料表面质量主要取决于所用绝缘体上硅(SOI)材料.当所用SOI材料为基于SIMOX技术的材料时,表面RMS粗糙度为3nm左右,自相关长度为100nm左右.采用SOG材料所制作出的脊型光波导的传输损耗与相应的SOI材料上制作出的光波导相当.这种光波导材料既具有SOI材料的众多优点,还可以在器件制作中同时实施硅的下界面处理,同时它采用玻璃作为波导的下限制层,得到较厚的下限制层.
採用硅-玻璃鍵閤和選擇性腐蝕技術研製齣瞭玻璃上硅(SOG)光波導材料.所研製齣的光波導材料錶麵質量主要取決于所用絕緣體上硅(SOI)材料.噹所用SOI材料為基于SIMOX技術的材料時,錶麵RMS粗糙度為3nm左右,自相關長度為100nm左右.採用SOG材料所製作齣的脊型光波導的傳輸損耗與相應的SOI材料上製作齣的光波導相噹.這種光波導材料既具有SOI材料的衆多優點,還可以在器件製作中同時實施硅的下界麵處理,同時它採用玻璃作為波導的下限製層,得到較厚的下限製層.
채용규-파리건합화선택성부식기술연제출료파리상규(SOG)광파도재료.소연제출적광파도재료표면질량주요취결우소용절연체상규(SOI)재료.당소용SOI재료위기우SIMOX기술적재료시,표면RMS조조도위3nm좌우,자상관장도위100nm좌우.채용SOG재료소제작출적척형광파도적전수손모여상응적SOI재료상제작출적광파도상당.저충광파도재료기구유SOI재료적음다우점,환가이재기건제작중동시실시규적하계면처리,동시타채용파리작위파도적하한제층,득도교후적하한제층.
