光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2005年
5期
65-68
,共4页
张均%董军%张艳%张蓉竹%蔡邦维
張均%董軍%張豔%張蓉竹%蔡邦維
장균%동군%장염%장용죽%채방유
面形测量%球面镜%刀口检测法%数字刀口%定量分析
麵形測量%毬麵鏡%刀口檢測法%數字刀口%定量分析
면형측량%구면경%도구검측법%수자도구%정량분석
为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术, 把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪.采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息.对125mm和150mm口径的球面镜进行检测,实现了传统刀口仪不能完成的定量检测,获得了面形分布,检测精度P-V值达到0.12°=532nm°.通过与干涉仪测得P-V值0.057相比较,验证了数字刀口检测的可行性,而且得到的数据还可进一步进行像差分析,为镜面误差的加工修正提供依据.
為便捷地定量檢測大口徑光學元件麵形,運用數字刀口檢測技術, 把傳統刀口儀與CCD圖像採集處理、計算機輔助計算相結閤,構成數字刀口儀.採用圖像處理來確定閾值對應的刀口位置,引入PSD來描述頻域信息.對125mm和150mm口徑的毬麵鏡進行檢測,實現瞭傳統刀口儀不能完成的定量檢測,穫得瞭麵形分佈,檢測精度P-V值達到0.12°=532nm°.通過與榦涉儀測得P-V值0.057相比較,驗證瞭數字刀口檢測的可行性,而且得到的數據還可進一步進行像差分析,為鏡麵誤差的加工脩正提供依據.
위편첩지정량검측대구경광학원건면형,운용수자도구검측기술, 파전통도구의여CCD도상채집처리、계산궤보조계산상결합,구성수자도구의.채용도상처리래학정역치대응적도구위치,인입PSD래묘술빈역신식.대125mm화150mm구경적구면경진행검측,실현료전통도구의불능완성적정량검측,획득료면형분포,검측정도P-V치체도0.12°=532nm°.통과여간섭의측득P-V치0.057상비교,험증료수자도구검측적가행성,이차득도적수거환가진일보진행상차분석,위경면오차적가공수정제공의거.
