金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2006年
1期
31-35
,共5页
宋建华%苗晋琦%吕反修%唐伟忠
宋建華%苗晉琦%呂反脩%唐偉忠
송건화%묘진기%려반수%당위충
金刚石膜%强电流直流伸展电弧%等离子体%均匀性%有效沉积区域
金剛石膜%彊電流直流伸展電弧%等離子體%均勻性%有效沉積區域
금강석막%강전류직류신전전호%등리자체%균균성%유효침적구역
采用特殊的等离子体技术成功研制出适合于金刚石涂层工具工业化生产的中试设备-强电流直流伸展电弧等离子体CVD-500型中试设备.单腔体沉积的沉积工件数量在100支以上;对该设备的沉积均匀性进行了系统的研究,位于等离子体扩散区同一柱面不同位置沉积的金刚石形貌及质量均匀、一致,涂层厚度的不均匀度在±3.5%的范围内;同一沉积试件不同位置处的金刚石形貌及质量稍有差别,但均在许可范围之内,涂层厚度的不均匀度在±2%的范围内;等离子体的扩散区的径向6 cm～8cm,轴向距阳极7 cm～19cm的范围为该设备的有效沉积区域.
採用特殊的等離子體技術成功研製齣適閤于金剛石塗層工具工業化生產的中試設備-彊電流直流伸展電弧等離子體CVD-500型中試設備.單腔體沉積的沉積工件數量在100支以上;對該設備的沉積均勻性進行瞭繫統的研究,位于等離子體擴散區同一柱麵不同位置沉積的金剛石形貌及質量均勻、一緻,塗層厚度的不均勻度在±3.5%的範圍內;同一沉積試件不同位置處的金剛石形貌及質量稍有差彆,但均在許可範圍之內,塗層厚度的不均勻度在±2%的範圍內;等離子體的擴散區的徑嚮6 cm～8cm,軸嚮距暘極7 cm～19cm的範圍為該設備的有效沉積區域.
채용특수적등리자체기술성공연제출괄합우금강석도층공구공업화생산적중시설비-강전류직류신전전호등리자체CVD-500형중시설비.단강체침적적침적공건수량재100지이상;대해설비적침적균균성진행료계통적연구,위우등리자체확산구동일주면불동위치침적적금강석형모급질량균균、일치,도층후도적불균균도재±3.5%적범위내;동일침적시건불동위치처적금강석형모급질량초유차별,단균재허가범위지내,도층후도적불균균도재±2%적범위내;등리자체적확산구적경향6 cm～8cm,축향거양겁7 cm～19cm적범위위해설비적유효침적구역.
