半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2006年
8期
607-611
,共5页
超声键合%键合压力%动态压电测力传感器
超聲鍵閤%鍵閤壓力%動態壓電測力傳感器
초성건합%건합압력%동태압전측력전감기
建立了超声键合压力的测量工作台,对工作台进行静态线性度标定和动态重复性测量,利用动态压电测力传感器对超声键合系统键合压力大小进行测量,得出不同压力作用下传感器力响应曲线图,分析其频谱图,发现保持某一固定功率(4.5格2.25W),可以找到合适的键合压力(5格0.719N)与其匹配.这些实验现象和结果可作为超声键合过程参数匹配及优化的依据.
建立瞭超聲鍵閤壓力的測量工作檯,對工作檯進行靜態線性度標定和動態重複性測量,利用動態壓電測力傳感器對超聲鍵閤繫統鍵閤壓力大小進行測量,得齣不同壓力作用下傳感器力響應麯線圖,分析其頻譜圖,髮現保持某一固定功率(4.5格2.25W),可以找到閤適的鍵閤壓力(5格0.719N)與其匹配.這些實驗現象和結果可作為超聲鍵閤過程參數匹配及優化的依據.
건립료초성건합압력적측량공작태,대공작태진행정태선성도표정화동태중복성측량,이용동태압전측력전감기대초성건합계통건합압력대소진행측량,득출불동압력작용하전감기력향응곡선도,분석기빈보도,발현보지모일고정공솔(4.5격2.25W),가이조도합괄적건합압력(5격0.719N)여기필배.저사실험현상화결과가작위초성건합과정삼수필배급우화적의거.
