江汉大学学报（自然科学版）
江漢大學學報（自然科學版）
강한대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIANGHAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES）
2007年
4期
33-36,62
,共5页
周幼华%陈娴娟%乔燕%陆培祥%郑启光
週幼華%陳嫻娟%喬燕%陸培祥%鄭啟光
주유화%진한연%교연%륙배상%정계광
飞秒%脉冲激光沉积%薄膜%β-FeSi2
飛秒%脈遲激光沉積%薄膜%β-FeSi2
비초%맥충격광침적%박막%β-FeSi2
用钛宝石飞秒激光器将最大峰值功率密度为1.14×1013w/cm2的激光作用在Bi14Ti3O12陶瓷靶、Cu靶、FeSi2合金靶上,研究产生等离子体羽的颜色和形状一般规律:内芯均为白色对应于高温高压等离子体;紧跟内芯的是等离子体的复合形成中性粒子的区域;颜色单一的外层是温度较低的中性粒子和低温等离子体区.飞秒脉冲激光产生的等离子体呈cos4θ的角分布.在准分子脉冲激光沉积下衬底温度为500℃时β-FeSi2薄膜的生长模式是Volmer-Weber模式,村底温度为550℃时β-FeSi2薄膜的生长是stranski-Krastanov模式.实验发现飞秒激光沉积技术能解决传统PLD法中产生大尺寸微滴的缺陷.
用鈦寶石飛秒激光器將最大峰值功率密度為1.14×1013w/cm2的激光作用在Bi14Ti3O12陶瓷靶、Cu靶、FeSi2閤金靶上,研究產生等離子體羽的顏色和形狀一般規律:內芯均為白色對應于高溫高壓等離子體;緊跟內芯的是等離子體的複閤形成中性粒子的區域;顏色單一的外層是溫度較低的中性粒子和低溫等離子體區.飛秒脈遲激光產生的等離子體呈cos4θ的角分佈.在準分子脈遲激光沉積下襯底溫度為500℃時β-FeSi2薄膜的生長模式是Volmer-Weber模式,村底溫度為550℃時β-FeSi2薄膜的生長是stranski-Krastanov模式.實驗髮現飛秒激光沉積技術能解決傳統PLD法中產生大呎吋微滴的缺陷.
용태보석비초격광기장최대봉치공솔밀도위1.14×1013w/cm2적격광작용재Bi14Ti3O12도자파、Cu파、FeSi2합금파상,연구산생등리자체우적안색화형상일반규률:내심균위백색대응우고온고압등리자체;긴근내심적시등리자체적복합형성중성입자적구역;안색단일적외층시온도교저적중성입자화저온등리자체구.비초맥충격광산생적등리자체정cos4θ적각분포.재준분자맥충격광침적하츤저온도위500℃시β-FeSi2박막적생장모식시Volmer-Weber모식,촌저온도위550℃시β-FeSi2박막적생장시stranski-Krastanov모식.실험발현비초격광침적기술능해결전통PLD법중산생대척촌미적적결함.
